2021年6月8日，中國儀器儀表行業協會組織的“場發射槍掃描電子顯微鏡科技成果評價會”在北京中科科儀股份有限公司舉行，會議由中國儀器儀表行業協會秘書長李躍光主持。

評價委員會由中國科學院院士朱靜、中國人民解放軍軍事科學醫學院教授張德添、中國科學院電工研究所研究員韓立、中國科學院理化技術研究所研究員孟祥敏、北京大學教授級高級工程師徐軍、中國科學院大學教授陳廣超、中國科學院化學研究所高級工程師關波七名專家組成，朱靜院士擔任主任委員。

中科科儀項目團隊就“場發射槍掃描電子顯微鏡”成果的先進性、創新性以及該項目帶來的經濟效益和社會效益向評價委員會做了全面匯報。該項目的完成開創了國產熱場發射槍掃描電子顯微鏡的先河，分辨率達到1.0nm@30kV、3.0nm@1kV，并已取得授權發明專利11項、軟件著作權3項，為解決高端科學儀器裝備“國產替代”方面的問題做出了積極貢獻。該項目成果形成的產品已服務于教學、科研、國防、經濟等領域，深受客戶好評，取得了顯著的經濟效益和社會效益。

場發射槍掃描電子顯微鏡

樣品形貌

評價委員會專家審查了相關資料，現場考察了相關產品的生產、試驗情況，經過質詢和討論，評價委員會成員一致同意通過評價，認為中科科儀研制的場發射槍掃描電子顯微鏡作為2014年國內首臺套，具有自主知識產權，該儀器設計結構合理、選材適當、制造工藝先進，主要性能指標達到國際同類產品先進水平。

自1965年研制成功第一臺DX-2透射電鏡開始，中科科儀在電子光學領域持續耕耘50余年，通過技術傳承與創新，打造了一支高精尖電子光學領域專業人才隊伍，持續推出系列化電鏡產品，從第一臺掃描電子顯微鏡到第一臺場發射槍掃描電子顯微鏡，不斷打破國外技術壟斷，填補國內高端儀器裝備領域空白。作為國家戰略科技力量投資興辦的企業，中科科儀將繼續以解決國家高端儀器裝備領域“卡脖子”問題為己任，為強化國家戰略科技力量、實現科技自立自強做出新的貢獻。

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